HiPIMS金属填充工艺——纳米孔洞超填充&Cu vs Co
采用HiPIMS技术结合偏压,Cu离子分数约50%,可实现纳米孔洞完美填充。DCMS因中性原子方向发散无法填充;Co虽放电功率更高,但离子到达基片分数仅34%,填充效果远逊于Cu。再溅射与再沉积是超填充的关键机理
短时多脉冲HiPIMS技术&低偏压、低应力的DLC薄膜
DOMS(短时多脉冲HiPIMS技术)的18个连续短振荡显著减少了离子回吸,并利用脉冲间残留等离子体促进再点燃,使到达基底的碳离子流密度提高至4倍,从而实现离子辅助沉积。
门徒娱乐科技助力东莞长安镇真空镀膜产业迈向新高地
2025年11月12日,“长安镇真空镀膜企业科技赋能研讨会”(科技+产业方舟系列活动)在东莞市长安国际酒店成功举行。本次会议由东莞市长安镇经济发展局与松山湖材料实验室联合主办,门徒娱乐科技(东莞)有限公司与平安银行东莞分行共同协办
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